Sejenis plat panas mikro MEMS berdasarkan filem dielektrik komposit sisi dan kaedah pembuatannya

Sejenis plat panas mikro MEMS berdasarkan filem dielektrik komposit melintang dan kaedah pembuatannya

bidang teknikal

1. Ciptaan ini berkaitan dengan bidang teknikal mems, khususnya kepada plat panas mikro mems berdasarkan filem dielektrik komposit melintang dan kaedah pembuatannya.

Teknik latar belakang:

2. Plat panas mikro berdasarkan proses mems telah terbukti mempunyai kelebihan pengecilan, penggunaan kuasa yang rendah, tindak balas haba yang cepat, dan penyepaduan yang mudah, dan digunakan secara meluas dalam penderia mikro-gas, meter aliran gas mikro, pemancar inframerah , dan mikro-termometer. Contohnya, apabila plat mikro-panas digunakan untuk penderia mikro-gas, prestasi penderia mikro-gas dipengaruhi oleh suhu operasi dan kestabilan mekanikalnya. Biasanya, plat mikro-panas yang digunakan untuk penderia mikro-gas perlu menyediakan suhu seragam 150 darjah hingga 400 darjah dan baik Kestabilan mekanikal plat mikro-panas memerlukan kadar pemanasan plat mikro-panas yang cepat. dan diedarkan sama rata. Untuk disepadukan dalam peranti mudah alih, microhotplate perlu mengurangkan penggunaan kuasa sebanyak mungkin dan menyediakan suhu yang sesuai, sambil mengekalkan keseragaman suhu yang baik, sifat mekanikal dan kadar pemanasan, yang telah menjadi tempat panas dalam bidang penyelidikan microhotplate.

3. Plat panas mikro satah mems semasa secara amnya menggunakan filem sio2, si3n4 atau sio2, si3n4 yang digabungkan dalam arah menegak untuk membentuk lapisan sokongan dan lapisan dielektrik. Walau bagaimanapun, kekonduksian terma rendah plat mikro-panas hanya menggunakan bahan sio2 adalah mudah untuk meningkatkan kehilangan haba dan menyebabkan ubah bentuk haba suhu tinggi. Plat panas mikro menggunakan hanya bahan si3n4 boleh mengurangkan ubah bentuk haba suhu tinggi dan meningkatkan kadar pemanasan, tetapi kekonduksian haba yang tinggi Sifat-sifat sio2 dan si3n4 membawa kepada peningkatan kehilangan haba sisi, dan ubah bentuk plat panas. terdiri daripada filem sio2 dan si3n4 yang digabungkan dalam arah menegak dikurangkan, tetapi kehilangan haba sisi masih wujud. Faktor-faktor ini membawa kepada kehilangan pengaliran haba yang lebih besar dan penggunaan kuasa yang lebih tinggi bagi plat panas mikro jenis rata daripada plat panas mikro jenis jambatan gantung. Walau bagaimanapun, masalah serius plat mikro-panas jenis jambatan gantung adalah ubah bentuk yang besar, kerosakan mudah, dan ketidakserasian dengan proses lain di peringkat kemudian, mengakibatkan hasil yang rendah, kestabilan rendah dan kebolehpercayaan penyediaan peranti berdasarkan jenis mikro ini. -pinggan panas.

Hubungi Kami:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel: tambah 86-755-23699351

Mob: tambah 8618666663894