Plat panas mikro MEMS berdasarkan filem dielektrik komposit sisi dan kaedah pembuatannya serta elemen realisasi teknikal

Elemen pelaksanaan teknikal:

4. Memandangkan masalah teknikal di atas, ciptaan ini menyediakan plat panas mikro mems berdasarkan filem dielektrik komposit melintang dan kaedah pembuatannya.

5. Tujuan ciptaan ini adalah untuk menyediakan plat mikro-panas jenis rata dengan kehilangan pengaliran haba sisi yang rendah, kecekapan penggunaan kuasa tinggi bagi plat mikro-panas dan ubah bentuk mekanikal rendah yang disebabkan oleh tegasan haba, yang memenuhi keperluan seperti sebagai penggunaan kuasa yang rendah, ubah bentuk yang rendah, Keperluan kestabilan dan kebolehpercayaan yang tinggi.

6. skim teknikal bahawa ciptaan sekarang menyelesaikan masalah teknikal yang disebutkan di atas adalah seperti berikut:

7. Plat panas mikro mems berdasarkan filem dielektrik komposit melintang, plat panas mikro yang terdiri daripada lapisan dielektrik komposit, substrat berasaskan silikon, lapisan sokongan pengasingan, elektrod pemanasan, elektrod isyarat dan pad, dan kawasan goresan belakang;

8. Substrat berasaskan silikon adalah asas untuk pembuatan plat panas mikro;

9. Lapisan sokongan pengasingan terletak di atas substrat berasaskan silikon, digunakan untuk penebat, mengurangkan kehilangan haba, dan menyediakan sokongan untuk kawasan pemanasan elektrod dan kawasan pengukuran isyarat;

10. Elektrod pemanasan disusun di atas lapisan sokongan pengasingan, dan elektrod pemanasan menjana kawasan pemanasan untuk menyediakan suhu kerja yang diperlukan untuk plat mikro-panas;

Hubungi Kami:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel: tambah 86-755-23699351

Mob: tambah 8618666663894