Reka bentuk dan kaedah penyediaan PMUT dengan parit pengasingan

Reka bentuk dan kaedah penyediaan pmut dengan parit pengasingan

bidang teknikal

1. Ciptaan ini berkaitan dengan bidang teknikal pmut, khususnya dengan reka bentuk dan kaedah penyediaan pmut dengan parit pengasingan.

Teknik latar belakang:

2. Teknologi MEMS ialah teknologi sistem mekatronik skala mikro yang dibangunkan dalam beberapa dekad kebelakangan ini. Berdasarkan teknologi mems, para penyelidik mereka bentuk dan mencipta transduser ultrasonik mikromesin. Berbanding dengan transduser ultrasonik tradisional, ia mempunyai kelebihan pengecilan, penyepaduan, prestasi tinggi dan kos rendah, dan telah menjadi salah satu arah penyelidikan penting transduser ultrasonik. Menurut prinsip kerja, mut boleh dibahagikan kepada transduser ultrasonik mikromesin kapasitif dan transduser ultrasonik mikromesin piezoelektrik. cmut biasanya memerlukan voltan pincang DC yang tinggi untuk memenuhi sensitiviti penghantaran dan penerimaan yang tinggi, yang menyebabkan beberapa kesukaran untuk reka bentuk litar dan penyepaduan dan fabrikasi peranti. cmut biasanya memerlukan voltan pincang DC yang tinggi untuk memenuhi sensitiviti penghantaran dan penerimaan yang tinggi, yang Ia menyebabkan kesukaran tertentu untuk reka bentuk litar dan penyepaduan dan pembuatan peranti. Berbanding dengan cmut, pmut tidak memerlukan voltan tinggi untuk mendapatkan kepekaan yang tinggi, dan mempunyai sedikit pengaruh kemuatan parasit, penggunaan kuasa yang rendah, dan mudah untuk disepadukan dengan litar cmos. Prinsip asas pmut adalah terutamanya kesan piezoelektrik. Apabila kristal piezoelektrik berubah bentuk dengan menggunakan daya luaran dalam arah tertentu, caj bertentangan positif dan negatif akan terhasil pada dua permukaan bertentangan kristal, yang dipanggil kesan piezoelektrik positif; dan apabila medan elektrik digunakan dalam arah polarisasi kristal, ia akan menyebabkan Kristal berubah bentuk, dan kristal kembali kepada bentuk asalnya selepas mengeluarkan medan elektrik. Fenomena ini dipanggil kesan piezoelektrik songsang. Apabila pmut digunakan sebagai penghantar, voltan antara elektrod atas dan bawah menyebabkan lapisan piezoelektrik mempunyai kesan piezoelektrik songsang, yang menghasilkan getaran frekuensi tinggi dan kemudian memancarkan gelombang ultrasonik; apabila digunakan sebagai penerima, tekanan bunyi bertindak pada lapisan piezoelektrik, mengakibatkan ubah bentuk. Disebabkan oleh kesan piezoelektrik positif Menyebabkan isyarat elektrik terhasil antara elektrod atas dan bawah. Struktur asas pmut ialah struktur filem terampai yang tipikal, lapisan piezoelektrik berada di antara lapisan elektrod atas dan bawah, dan substrat paling bawah biasanya merupakan silikon substrat penebat (silikon-pada-penebat, soi). Lapisan penebat biasanya silikon dioksida (sio2). Fungsi utama dalam proses kerja ialah struktur filem terampai yang terdiri daripada elektrod atas, lapisan piezoelektrik, lapisan elektrod bawah dan lapisan penebat.

Hubungi Kami:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel: tambah 86-755-23699351

Mob: tambah 8618666663894