Kaedah pembuatan peranti MEMS

bidang teknikal

1. Pendedahan sekarang berkaitan dengan peranti mems dengan pengagihan tekanan yang lebih baik.

Teknik latar belakang:

2. Seperti yang diketahui umum, peranti elektronik mems ("Sistem Mekanikal Elektro Mikro"), seperti penggerak dan/atau penderia, biasanya terbentuk pada substrat yang menempatkan rongga dan termasuk struktur boleh alih yang digantung dari rongga di atas dan dihadkan oleh anjal. elemen ke kawasan tetap. Substrat, struktur boleh alih, dan unsur elastik mungkin kamiran, dan biasanya terbentuk daripada bahan semikonduktor seperti silikon.

3. Peranti elektronik ini juga termasuk: satu atau lebih struktur penggerak dan/atau pengesanan, digandingkan dengan struktur boleh alih; dan litar kawalan elektrik, disepadukan dalam substrat yang sama atau dibentuk dalam substrat yang berbeza dan Gandingan kepada struktur penggerak dan/atau pengesanan boleh memberikan isyarat pemacu elektrik kepada struktur penggerak dan/atau menerima isyarat pengesanan elektrik daripada struktur pengesanan.

4. Secara terperinci, struktur penggerak boleh menyebabkan anjakan, cth putaran, struktur boleh alih apabila dikawal oleh isyarat pemacu elektrik yang sepadan. Begitu juga, struktur pengesanan dikonfigurasikan untuk menjana isyarat elektrik sepadan yang merupakan fungsi keadaan operasi struktur alih, dan sebagai contoh, fungsi julat putaran struktur alih.

5. Litar kawalan elektrik dan struktur penggerak dan/atau pengesanan biasanya disambungkan secara elektrik antara satu sama lain melalui landasan konduktif, contohnya terbentuk daripada timbunan lapisan konduktif.

6. Rel konduktif biasanya memanjang ke atas kawasan tetap, elemen anjal, dan kadangkala sebahagiannya ke atas struktur boleh alih.

7. Semasa digunakan, anjakan struktur boleh alih mengakibatkan ubah bentuk, contohnya berpusing, unsur-unsur kenyal yang mengehadkan struktur alih kepada kawasan tetap.

Hubungi Kami:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel: tambah 86-755-23699351

Mob: tambah 8618666663894